خلفية التطبيق
تُستخدم عملية الحفر الجاف على نطاق واسع في تصنيع الرقائق الإلكترونية. توضع رقاقة السيليكون كقطب موجب في أسفل غرفة الحفر. يتم تركيب لوحة توزيع الغاز ذات الثقوب الدقيقة الكثيفة، والتي تعمل كقطب سالب، في الجزء العلوي من الغرفة. مع تطبيق الجهد المناسب وإدخال غاز الحفر بالبلازما الحمضي، يتم إجراء التصنيع الدقيق على رقاقة السيليكون داخل الغرفة ذات درجة الحرارة العالية وفقًا لأنماط الدوائر المحددة بواسطة الطباعة الحجرية، وذلك لحفر سطح الرقاقة إلى عرض الخط وعمق التصميم وتشكيل الدوائر المتكاملة الدقيقة.
يتلامس الأقطاب الكهربائية العلوية والسفلية مباشرة مع البلازما. أثناء حفر رقاقة السيليكون، تتآكل البلازما أيضًا كلا القطبين. تتعرض الأقطاب للتآكل الفيزيائي والكيميائي التدريجي من غاز الحفر. بمجرد تآكلها إلى مستوى معين، يجب استبدال الأقطاب الكهربائية لضمان الحفر المنتظم. ستنحرف الثقوب الموزعة بالتساوي على القطب العلوي (رأس الدش / لوحة توزيع الغاز) في أبعادها بسبب تآكل غاز الحفر وتحتاج إلى استبدال عند تجاوز حدود التفاوت.

تحليل الحل
🔹 تظهر الاختبارات على آلات القطع الدقيقة PCD بقطر 0.45 مم المصنوعة من السيليكون أحادي البلورة الحد الأدنى من تشظي حواف الثقوب. تحت الفحص المجهري، يقل تفاوت استدارة الثقب عن 0.005 مم، ودقة الأبعاد في حدود ±0.003 مم، وخشونة السطح ≤Ra0.2 ميكرومتر، مما يلبي متطلبات العملاء.
🔹 في الاختبارات الأولية، تظهر أداة القطع تآكلًا طفيفًا في الحافة بعد تشغيل 3500 ثقب وتظل قابلة للاستخدام.
🔹 تنقسم أدوات القطع الدقيقة Worldia PCD إلى أربع سلاسل (WZ1، WZ2، WZ3، و WZ-X) وفقًا للمواد المعالجة وسيناريوهات التطبيق، مع نطاق قطر من 0.1 مم إلى 1.0 مم. تعتمد أدوات القطع PCD الصلبة على تصميم التمركز الذاتي، وتدعم نسبة أقصى للعمق إلى القطر تصل إلى 57:1. يتم تصنيع قنوات إخراج الرقائق عن طريق الطحن المتكامل لإخراج الرقائق بسلاسة. يمكن أن تصل جودة جدار الثقب المشكل إلى Ra0.2 ميكرومتر أو أفضل مع الحد الأدنى من تشظي حواف الثقوب. يوفر طرف أداة القطع PCD مقاومة ممتازة للتآكل، وعمر أداة طويل، واتساقًا عاليًا في الأبعاد. تلبي المنتجات متطلبات تشكيل الثقوب الدقيقة للسيليكون أحادي البلورة، والسيليكون متعدد البلورات، وكربيد السيليكون، والسيراميك، والكوارتز المصهور، وغيرها من المواد في صناعة أشباه الموصلات.

مصدر البيانات: تقرير اختبار الأدوات من قسم تكنولوجيا الأدوات الدقيقة لشركة Beijing Worldia Diamond Tools CO., Ltd.

 لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة: 

📌www.worldia-tools.com

📍أو إرسال الاستفسارات إلى: info@worldia-tools.com